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純水設備是一項由多種相關技術的集成,如機械過濾技術、化學吸附技術、熱沸蒸餾技術、紫外殺菌技術以及膜濾技術等。特別應提出的是離子交換樹脂(以下簡稱樹脂)的出現,對制備純水具有劃時代的里程碑意義。離子交換把人的視野帶進了微觀世界,應用樹脂的神奇特性,能對水進行深度提純,能制取18M的高純水,這是其它方法無可比擬的。當今已成為世界各國制取純水的重要手段,樹脂應用技術已成為一個國家工業發展水平的重要標志。
水是工業生產不可缺少的基礎原料,但是,天然水不論是江河湖海或是天降水、地下水,都不同程度地含有多種雜質,如化學雜質(無機鹽、有機物質等)、微生物雜質(細菌、病毒等)和固狀雜質(如泥沙、顆粒物等)。因此,大多不能直接用于生產,需要進行純化處理,如沉淀、過濾、蒸餾以及化學置換與吸附等,使水達到生產要求,這就是水處理工業的由來。
純水設備對微粒、細菌、總有機碳等有害雜質的控制極其嚴格,要求水質接近理論純,水的電阻率達18MQ'cm。國內外把這種高質量的純水稱為超純水。七十年代國外在超純水制備中采用了反慘透技術,并輔以離子交換、微過濾、紫外殺菌等方法,使超純水的質量水平有很大的提高,有力地保證了集成電路工業發展的需要。
反滲透是一種新型的隔膜分離技術,它具有脫鹽率高,產水量大、脫除水中的微粒、二氧化硅和細商的效果好等優點,在超純水制備中得到廣泛的應用.電子工業的超純水通常使用的反滲透膜有聚酷股膜、醋酸纖維素膜及復合薄膜.以下分別介紹它們的特性、參數及使用中要注意的一些問題。
超純水設備產品說明:
導體芯片廠超純水 TOC<10ppb 顆粒度(PARTICLE)達0.5um≤200PCS/L 二氧化硅SiO2<5ppb 電阻率≥18MΩ.cm(25℃) 采用高純度PVDF管路
封裝測試行業及相關行業超純水 TOC<50ppb 顆粒度(PARTICLE)達到0.2um<3-5PCS/ML 二氧化硅SiO2<10ppb 電阻率≥16MΩ.cm(25℃)
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